IT之家 8 月 12 日消息，埃隆 · 马斯克的“Terafab”计划可能会采用一种全新的 EUV 光源方案。据马斯克暗示，该设施可能使用自由电子激光器（FEL），取代目前 ASML 采用的激光产生等离子体（LPP）光源。马斯克在回应社交平台 X 上的相关帖子时写道：“自由电子激光器万岁”（FEL, FTW），似乎表达了对这项技术的支持。 据IT之家了解，目前业内主要依赖 LPP 技术，该技术使用高功率激光轰击高速移动的锡液滴，产生高温等离子体，并释放波长为 13.5 纳米的 EUV 光。 不过，这种…