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富加镓业实现 6 英寸氧化镓晶锭技术突破,厚度超 70mm
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富加镓业实现 6 英寸氧化镓晶锭技术突破,厚度超 70mm - IT之家
IT之家 8 月 23 日消息,据富加镓业消息,近日,富加镓业采用自主垂直布里奇曼法(VB 法)成功生长出厚度超 70mm 的 6 英寸氧化镓单晶晶锭,经平湖实验室 HRXRD 检测,结晶质量优异;同时经中国计量科学研究院检测,电学性能可满足碳化硅行业对衬底的要求。 据介绍,晶锭厚度是衡量单晶生长技术成熟度与产业化程度的关键指标,更厚的晶锭意味着单根晶体可切割出更多衬底片,直接降低单片成本。该 6 英寸晶锭厚度经中国计量科学研究院权威检测,晶锭厚度平均值 70.58 mm,极差 0.12 mm,已超过主流碳化硅晶锭…
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