惠然微电子在 8 月 31 日 ~9 月 2 日的第十四届半导体设备材料及核心部件展（CSEAC 2026）上发布多款重磅新品，其中就包括 14 纳米研发级和 22 纳米量产级 12 英寸晶圆 CD-SEM eMILO-FW300、光掩模版关键尺寸量测设备 Mask CD-SEM eMILO-FR7，以及 AI-电子束量测技术平台 RMS 等。