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中微公司 Primo Domingo 全球首台付运，面向 GAA 与 3D DRAM 高选择性刻蚀
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中微公司 Primo Domingo 全球首台付运，面向 GAA 与 3D DRAM 高选择性刻蚀 - IT之家
该设备针对 GAA 晶体管、3D NAND 等下一代三维器件开发，填补了国内 3D 半导体器件关键刻蚀工艺自主化空白，目前已进入客户端实际验证环节。#半导体设备国产化#
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